National Library of Finland
Open Data and Linked Data Service
Search works, persons, organizations and subjects:
Diffusion barriers in semiconductor contact metallization
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:W00003827300
about
metallointi
puolijohteet
author
Kattelus, Hannu
inLanguage
en
isPartOf
Fennica
name
Diffusion barriers in semiconductor contact metallization
P60049
<http://rdaregistry.info/termList/RDAContentType/1020>
Instances
1988 : Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Puolijohdelaboratorio
View this in Finna
Diffusion barriers in semiconductor contact metallization
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:I00003827300
datePublished
1988
description
kuvitettu
Tiivistelmä ja 7 erip.
identifier
propertyID:
FI-FENNI
value:
63336
propertyID:
FI-MELINDA
value:
000038273
propertyID:
skl
value:
fx63336
isbn
9513831205
isPartOf
Fennica
Tiedonanto / Valtion teknillinen tutkimuskeskus, palotekniikan laboratorio
name
Diffusion barriers in semiconductor contact metallization
numberOfPages
33, [90] s.
P60048
<http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>
P60050
<http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>
publication
location:
Espoo Hki
organizer:
Valtion painatuskeskus [jakaja Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Puolijohdelaboratorio
publisher
Valtion painatuskeskus [jakaja
Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Puolijohdelaboratorio
Download this resource as RDF:
Turtle
RDF/XML
N-Triples
JSON-LD