National Library of Finland
Open Data and Linked Data Service
Search works, persons, organizations and subjects:
Micromechanical characterization of ALD thin films
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:W00866183600
about
atomikerroskasvatus
elektroniikkakomponentit
fysikaaliset ominaisuudet
author
Berdova, Maria
inLanguage
en
isPartOf
Fennica
name
Micromechanical characterization of ALD thin films
P60049
<http://rdaregistry.info/termList/RDAContentType/1020>
Instances
-
-
-
-
-, e-book
2015 : Aalto-yliopisto
2015 : Aalto-yliopisto, e-book
Micromechanical characterization of ALD thin films
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:I00898022301
description
Julkaistu myös painettuna
isPartOf
Fennica
Tamp. yliop., Sosiol. sos.psykol. laitos, B, Työrap
name
Micromechanical characterization of ALD thin films
Micromechanical characterization of ALD thin films
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:I00866183602
isbn
9789526063454
isPartOf
Fennica
Tamp. yliop., Sosiol. sos.psykol. laitos, B, Työrap
name
Micromechanical characterization of ALD thin films
Micromechanical characterization of ALD thin films
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:I00866183601
description
Yhteenveto-osa julkaistu myös verkkoaineistona
isPartOf
Fennica
Tamp. yliop., Sosiol. sos.psykol. laitos, B, Työrap
name
Micromechanical characterization of ALD thin films
Micromechanical characterization of ALD thin films
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:I00898022302
isbn
9789526063447
isPartOf
Fennica
Tamp. yliop., Sosiol. sos.psykol. laitos, B, Työrap
name
Micromechanical characterization of ALD thin films
Micromechanical characterization of ALD thin films
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:I00866183603
bookFormat
<http://schema.org/EBook>
isPartOf
Fennica
Tamp. yliop., Sosiol. sos.psykol. laitos, B, Työrap
name
Micromechanical characterization of ALD thin films
url
<http://urn.fi/URN:ISBN:978-952-60-6345-4>
Micromechanical characterization of ALD thin films
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:I00866183600
datePublished
2015
description
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 5 eripainosta.
kuvitettu
Nimiösivulla myös: Aalto University School of Chemical Technology, Department of Materials Science and Engineering, Microfabrication Group.
identifier
propertyID:
FI-MELINDA
value:
008661836
isbn
9789526063447
isPartOf
Fennica
Tamp. yliop., Sosiol. sos.psykol. laitos, B, Työrap
name
Micromechanical characterization of ALD thin films
numberOfPages
80, [39] sivu
P60048
<http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>
P60050
<http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>
publication
location:
Helsinki
organizer:
Aalto-yliopisto
publisher
Aalto-yliopisto
Micromechanical characterization of ALD thin films
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:I00898022300
bookFormat
<http://schema.org/EBook>
datePublished
2015
description
Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa.
Nimeke nimiösivulta.
Nimiösivulla myös: Aalto University School of Chemical Technology, Department of Materials Science and Engineering, Microfabrication Group.
identifier
propertyID:
FI-MELINDA
value:
008980223
isbn
9789526063454
isPartOf
Fennica
Tamp. yliop., Sosiol. sos.psykol. laitos, B, Työrap
name
Micromechanical characterization of ALD thin films
numberOfPages
1 verkkoaineisto (86 s.)
P60048
<http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1018>
P60050
<http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1003>
publication
location:
Helsinki
organizer:
Aalto-yliopisto
publisher
Aalto-yliopisto
url
Download this resource as RDF:
Turtle
RDF/XML
N-Triples
JSON-LD