Kiillotusnestesyöttöjärjestelmän päivitys
Kollanus, Eetu (2018)
Kollanus, Eetu
Metropolia Ammattikorkeakoulu
2018
All rights reserved
Julkaisun pysyvä osoite on
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-201805239838
https://urn.fi/URN:NBN:fi:amk-201805239838
Tiivistelmä
Tämän insinöörityö tehtiin Murata Electronics Oy:lle, joka valmistaa MEMS-teknologiaan perustuvia antureita.
Insinöörityön tarkoitus oli suunnitella ja toteuttaa kiillotusnestesyöttöjärjestelmän päivitys. Kiillotusnestesyöttöjärjestelmä valmistaa ja syöttää kiillotusnestettä CMP-laitteille. Nykyisessä järjestelmässä kiillotusneste sedimentoituu putkistoon ja tankkeihin, mikä aiheuttaa prosessiongelmia.
Työ aloitettiin tutustumalla nykyiseen järjestelmään ja kartoittamalla erilaisia parannusehdotuksia. Kiillotusnesteen syöttöjärjestelmä mallinnettiin FluidFlow-ohjelmistolla. Erilaisten mallien perusteella päätettiin vaihtaa kiillotusnesteen syöttöpumput, tankit ja muokata putkiston rakennetta.
Työn konkreettinen osuus alkoi refraktometrimittareiden asentamisesta syöttölinjastoon. Refraktometrillä mitataan kiillotusnesteen konsentraatiota ja laatua. Mittarit asennettiin kiillotusnesteen syöttöputkiston alku- ja loppupäähän. Tällä on tarkoitus mitata tulevan ja lähtevän kiillotusnesteen eroja.
Ennen päivitystä refraktometrimittaus toimi huonosti, sillä kiillotusneste sedimentoitui refraktometrin prismaan. Tämän johti nousevaan taitekertoimeen. Myös lähtevän ja tulevan kiillotusnesteen taitekertoimen ero oli huomattava. Kierrosta palautuva kiillotusneste oli eri laatuista kuin kiertoon lähtevä kiillotusneste.
Päivitysten jälkeen tulevan ja lähtevän kiillotusnesteen taitekertoimen ero pieneni merkittävästi. Voidaan todeta, että päivitys onnistui ja nyt kiillotusneste pysyy homogeenisenä, eikä sedimentoitumista tapahdu.
Insinöörityön tarkoitus oli suunnitella ja toteuttaa kiillotusnestesyöttöjärjestelmän päivitys. Kiillotusnestesyöttöjärjestelmä valmistaa ja syöttää kiillotusnestettä CMP-laitteille. Nykyisessä järjestelmässä kiillotusneste sedimentoituu putkistoon ja tankkeihin, mikä aiheuttaa prosessiongelmia.
Työ aloitettiin tutustumalla nykyiseen järjestelmään ja kartoittamalla erilaisia parannusehdotuksia. Kiillotusnesteen syöttöjärjestelmä mallinnettiin FluidFlow-ohjelmistolla. Erilaisten mallien perusteella päätettiin vaihtaa kiillotusnesteen syöttöpumput, tankit ja muokata putkiston rakennetta.
Työn konkreettinen osuus alkoi refraktometrimittareiden asentamisesta syöttölinjastoon. Refraktometrillä mitataan kiillotusnesteen konsentraatiota ja laatua. Mittarit asennettiin kiillotusnesteen syöttöputkiston alku- ja loppupäähän. Tällä on tarkoitus mitata tulevan ja lähtevän kiillotusnesteen eroja.
Ennen päivitystä refraktometrimittaus toimi huonosti, sillä kiillotusneste sedimentoitui refraktometrin prismaan. Tämän johti nousevaan taitekertoimeen. Myös lähtevän ja tulevan kiillotusnesteen taitekertoimen ero oli huomattava. Kierrosta palautuva kiillotusneste oli eri laatuista kuin kiertoon lähtevä kiillotusneste.
Päivitysten jälkeen tulevan ja lähtevän kiillotusnesteen taitekertoimen ero pieneni merkittävästi. Voidaan todeta, että päivitys onnistui ja nyt kiillotusneste pysyy homogeenisenä, eikä sedimentoitumista tapahdu.