Atomikerrosepitaksialla valmistettujen ohutkalvojen seosainepitoisuuksien määritys sekundääri-ionimassaspektrometrialla

No Thumbnail Available
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Helsinki University of Technology | Licentiate thesis
Checking the digitized thesis and permission for publishing
Instructions for the author
Date
1995
Major/Subject
Epäorgaaninen kemia
Mcode
Kem-35
Degree programme
Language
fi
Pages
v + 54 s. + liitt.
Series
Description
Supervisor
Niinistö, Lauri
Keywords
Other note
Citation