Tyhjiölaitteiston suunnittelu ja toteutus MEMS-resonaattoreiden interferometriseen kuvantamiseen

No Thumbnail Available
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Informaatio- ja luonnontieteiden tiedekunta | Bachelor's thesis
Electronic archive copy is available locally at the Harald Herlin Learning Centre. The staff of Aalto University has access to the electronic bachelor's theses by logging into Aaltodoc with their personal Aalto user ID. Read more about the availability of the bachelor's theses.
Date
2008
Department
Major/Subject
Teknillinen fysiikka
Mcode
F3005
Degree programme
Teknillisen fysiikan ja matematiikan tutkinto-ohjelma (TFM)
Language
fi
Pages
27 s.
Series
Description
Supervisor
Kaivola, Matti
Thesis advisor
Kokkonen, Kimmo
Keywords
tyhjiölaitteisto, MEMS, resonaattori, laser, interferometri
Other note
Citation